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硅晶片自动喷砂机
来源:  发表日期:2016/12/26  阅读次数:1735

                    真空单晶硅片自动喷砂机简介:
应用范围:单晶硅片喷砂,3寸,4寸
本机采用高耐磨绿色橡塑皮带输送工件,运行速度根据喷砂工艺要求可实现变频调速;

真空吸附硅片,防止喷飞硅片。

破碎率低,减薄量均匀可调,喷砂尺寸可控,采用PLC或一般电气控制系统,

主要零部件采用国内外名牌产品,运行可靠性高;

采用独立砂尘分离器,分离效果好,砂材循环供给,自动喷砂机适合各种300目以下砂材且砂材循环稳定性好;损耗小。

采用高耐磨的碳化硼或陶瓷喷嘴,喷枪数量可依加工需要设计10~20支,能满足不同产品大量的快速加工;

独立的布袋或滤筒式除尘系统,抽尘通风效果好(也可选用:脉冲滤芯式除尘)。

本自动喷砂机专门用于多晶硅,单晶硅喷砂处理,具有效率高操作简单,维护量小,自动化程度高等特点,是整流器,半导体及太阳能行业的首选设备,
喷枪数:10-18把
通道尺寸:250MM
输送速度:0-1.5米可调
总功率:13KW(不含压缩空气功率)
耗气量:6-立方/分
本产品与当前市场上的产品有如下优势:
一、 减薄尺寸均匀可控,减薄尺寸均匀度<1微米。
二、 由于磨料采用了精密分离过滤系统,磨料的均匀度大大提高,所加工的硅片表面粗糙度均匀一致,提高了成品率的产品的一致性
三、 输送带采用环形高耐磨绿色橡塑带,克服了原来普通黑色橡胶带磨损后的胶粉对硅片的二次污染,整条皮带无接头,杜绝了真空盒的过度磨损,降低了碎片率,在整个使用寿命期间无需重新修磨真空盒。
四、 自动喷砂机采用独立的砂尘分离器,配合精密脉冲滤筒除尘器,使尾气排放降低到30mg/m3以下,大大低于国家50mg/m3的排放标准,满足环保要求。
五、 除尘器风机和真空风机均采用高效节能风机,风机进风侧各设置一套进风调节阀可根据喷砂机和真空盒内的负压分别进行调节,从而大大降低风机的能耗。
六、 输送与喷枪摆动电机均采用高效变频电机,可根据实际需要进行调节,比普通控制方式节能30%以上

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